什么技术可以替代光刻机？
153****7733
实用新型 转换发明
提问时间:2022-09-20 13:09:00
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回答
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共1个
曾德敏
从业3年
专利代写专利无效宣告专利变更
所在地区:孝感市
咨询解答:566
效率是个难以跨过的坎。 有很多种方法可以实现更小的线宽,但是因为效率的问题,而被弃之不用了。虽然近年出现了一些高效率的电子束曝光技术,但是主要还是用来...
2022-09-20 15:04:01
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