超声波清洗机能清洗硅片吗？

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为什么要做晶片清洗

提问时间:2022-08-29 03:09:44

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张德川

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1、硅片晶圆超声波清洗机能清洗硅片。

2、硅片晶圆生产清洗工艺中，使用超声波清洗机有效去除硅片晶圆表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物，且不破坏晶片表面特性。根据不同清洗工艺配置相应的清洗单元，各部分有独立控制，随意组合。

3、硅片的清洗在半导体制作过程中十分重要，而磨片的清洗是所有清洗工序中最困难的。由于使用了硅片超声波清洗机，通过物理渗透作用，使污染颗粒脱离硅片表面，再通过超声波清洗的机械作用和化学腐蚀作用，最终去除污染颗粒，达到了清洗硅片的目的。

2022-08-29 03:51:46

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陈义修顾问

擅长：商标注册,商标转让

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