3年内中国能不能搞出EUV光刻机？
139****4748
清华知识产权
提问时间:2022-08-24 04:56:50
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回答
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共1个
孙巧梅
从业7年
专利无效答辩专利审查答复
所在地区:重庆市
咨询解答:224
很多人关心EUV光刻机,但28nmDUV光刻机能否如期交付,还悬着呢!如果28nm光刻机走不出实验室,将对EUⅤ光刻机的研制造成致命打击。 去年报道:2021年底,上海微电...
2022-08-24 05:42:52
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